專業(yè)提供半導(dǎo)體產(chǎn)品清洗超純水設(shè)備,半導(dǎo)體芯片清洗超純水系統(tǒng),我公司設(shè)計(jì)的超純水設(shè)備采用成熟、可靠、先進(jìn)、自動(dòng)化程度高的二級(jí)反滲透+EDI+精混床除鹽水處理工藝,確保處理后的超純水水質(zhì)確保處理后出水電阻率達(dá)到18 MΩ.cm。關(guān)鍵設(shè)備及材料均采用國際主流先進(jìn)可靠產(chǎn)品,采用PLC+觸摸屏控制,全套系統(tǒng)自動(dòng)化程度高,系統(tǒng)穩(wěn)定性高。大大節(jié)省人力成本和維護(hù)成本,水利用率高,運(yùn)行可靠,經(jīng)濟(jì)合理。使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
半導(dǎo)體材料很多,按化學(xué)成分可分為元素半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體兩大類。
鍺和硅是最常用的元素半導(dǎo)體;化合物半導(dǎo)體包括Ⅲ-Ⅴ 族化合物(砷化鎵、磷化鎵等)、Ⅱ-Ⅵ族化合物( 硫化鎘、硫化鋅等)、氧化物(錳、鉻、鐵、銅的氧化物),以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物組成的固溶體(鎵鋁砷、鎵砷磷等)。除上述晶態(tài)半導(dǎo)體外,還有非晶態(tài)的玻璃半導(dǎo)體、有機(jī)半導(dǎo)體等。
半導(dǎo)體清洗超純水設(shè)備水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):
半導(dǎo)體芯片清洗超純水設(shè)備出水水質(zhì)完全符合美國ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級(jí)標(biāo)準(zhǔn))、我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
半導(dǎo)體清洗超純水設(shè)備制備工藝:
1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(最新工藝)
3、預(yù)處理→一級(jí)反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對(duì)象(≥17MΩ.CM)(最新工藝)
4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(最新工藝)
5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對(duì)象 (≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備特點(diǎn):
為滿足用戶需要,達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì),盡可能地減少各級(jí)的污染,延長設(shè)備的使用壽
命、降低操作人員的維護(hù)工作量.在工藝設(shè)計(jì)上,取達(dá)國家自來水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水,再設(shè)有
介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均
設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無
人職守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比
較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
應(yīng)用場合:
☆電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗
☆電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
☆顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水
☆ 黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水
☆液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液
☆晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制
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